TiN/MgO(001)界面结构研究

摘要：

界面结构对功能薄膜材料的性能起着至关重要的作用.由于界面结合涉及大量原子以及界面间作用的复杂性,因此对薄膜材料的研究不仅要注重其显微结构和界面原子像,而且还要关注其界面的电子结构和性质.TiN薄膜具有诸如高熔点、超硬度、良好的电、热传导性等诱人的特性,是一种很有潜在应用价值的功能材料.本文通过JEOL2010高分辨电子显微镜和第一原理平面波赝势方法,分别对以外延生长TiN/MgO界面的显微结构和电子结构进行了研究.

关键词： 界面结构 薄膜材料 TiN薄膜 电子显微镜 外延生长 显微结构

作者: 陈东 马秀良

作者单位: 中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家实验室(辽宁沈阳)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子显微学会议

会议地点: 威海

会议语种:中文

页码: 404-404

在线出版日期: 2004-08-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）