TEM薄膜样品制备中的几点经验

摘要：

样品制备在电子显微学研究中至关重要,制备高质量的样品,是获得研究成果的关键之一.要获得高质量薄膜样品,除在离子减薄参数的合理选择和充分发挥减薄设备本身的技术水平外,还要重视样品在离子减薄前的机械预减薄,否则同样得不到高质量的薄膜样品.作者用美国Fischion公司生产的1010型离子减薄仪制备的薄膜样品,得到了理想的观察区域.

关键词： TEM薄膜 样品制备 电子显微学 薄膜样品

作者: 王凤莲 李莹

作者单位: 中国科学院物理研究所,北京电镜实验室(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子显微学会议

会议地点: 威海

会议语种:中文

页码: 511-511

在线出版日期: 2004-08-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）