SrIn<,0.1>Ti<,0.9>O<,3>/SrNb<,0.2>Ti<,0.8>O<,3>双层膜的微结构研究

摘要：

具有钙钛矿结构的金属氧化物多层膜比单层膜具有更良好的电学或光学性能,实际应用价值更大.在SrTiO<,3>(STO)基体的(001)晶面上,用由计算机控制的激光分子束外延方法生长了SrIn<,0.1>Ti<,0.9>O<,3>/SrNb<,0.2>Ti<,0.8>O<,3>(SITO/SNTO)双层氧化物薄膜.横截面电镜样品是用常规方法制备的.采用JEM 2010高分辨电子显微镜对样品进行微结构的研究,工作电压为200kV,点分辨率为0.194nm.

关键词： 微结构 金属氧化物多层膜 分子束外延 电子显微镜

作者: 张明 马秀良 李斗星

作者单位: 中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家(联合)实验室(辽宁沈阳)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子显微学会议

会议地点: 威海

会议语种:中文

页码: 406-406

在线出版日期: 2004-08-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）