LaAlO<,3>单晶基片上制备Ba<,0.5>Sr<,0.5>TiO<,3>薄膜的透射电镜研究

摘要：

铁电钛酸锶钡(Ba<,1-x>Sr<,x>(BSTO)薄膜材料具有很好的可调性,在微电子工业有广阔的应用前景.本文采用脉冲激光沉积(PLD)技术在(001)LaAlO<,3>单晶基片上外延生长了Ba<,0.5>Sr<,0.5>TiO<,3>薄膜.利用透射电子显微镜对薄膜的截面样品进行了微结构和界面行为的研究.

关键词： Ba<,0.5>Sr<,0.5>TiO<,3>薄膜 脉冲激光沉积 外延生长 电子显微镜 制备方法 超微结构

作者: 田焕芳 朱小红 虞红春 刘立宝 陈寒元 张怀若 周玉清 郑东宁 李建奇

作者单位: 中国科学院物理研究所北京电子显微镜实验室(北京) 中国科学院物理研究所超导国家重点实验室(北京) 中国科学院物理研究所北京电子显微镜实验室(北京);哈尔滨工业大学(威海)(山东威海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子显微学会议

会议地点: 威海

会议语种:中文

页码: 400-400

在线出版日期: 2004-08-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）