GaN缺陷晶体高分辨电子显微像的解卷处理

摘要：

拍摄高分辨电子显微像时未必总靠近Scherzer聚焦条件,且晶体有一定厚度,致使像未必反映晶体结构.对高分辨像进行解卷处理是校正像中畸变的晶体结构信息并提高图像分辨率的有效方法.本文用高分辨像图像解卷处理方法研究GaN材料中缺陷核心的原子配置.

关键词： 电子显微像 解卷处理 GaN材料 晶体缺陷

作者: 万威 唐春艳 王玉梅 李方华

作者单位: 中国科学院物理研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子显微学会议

会议地点: 威海

会议语种:中文

页码: 361-361

在线出版日期: 2004-08-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）