一种扫描电镜下纳米操纵台的设计

摘要：

本研究组设计了一种在场发射扫描电镜下进行纳米操控的装置——纳米操纵台.利用该纳米操纵台可实现原位下对纳米点、线和膜材料空间三维上的操作与观察.

关键词： 扫描电镜 纳米操纵台

作者: 闫允杰 张友生 彭奎庆 朱静

作者单位: 清华大学电子显微镜实验室(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国电子显微学会议

会议地点: 威海

会议语种:中文

页码: 484-484

在线出版日期: 2004-08-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）