预载电压对力平衡式微硅加速度计性能的影响

摘要：

在实验中发现,力平衡式加速度计的施力电压变化范围和传统计算中的并不相同.为研究预载电压对加速度计性能指标的影响,重新推导了力发生器的传递函数和静电负刚度等参数的表达式.对参数的分析显示,预载电压直接影响了加速度计的标度因数、量程和分辨率,但是不影响非线性度.在综合各种影响的基础上,提出了根据不同应用的要求选取预载电压的方法,并进行了实验验证.

关键词： 力平衡式加速度计 预载电压 静电力发生器

作者: 李疆 董景新 刘云峰 吴天准

作者单位: 清华大学精仪系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年惯性仪表与元件学术交流会

会议地点: 辽宁丹东

会议语种:中文

页码: 92-100

在线出版日期: 2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）