微机械梳齿式加速度计结构设计的系统考虑

摘要：

本文以梳齿式微机械加速度计为例,概括性地阐述了电容式微加速度敏感表头的设计思路及方法.提出系统设计的思想,归纳了结构设计中的主要制约因素,并分析了现有技术条件下电容式微机械加速度计的性能潜力.

关键词： 微电容检测 微加速度计 微结构设计方法

作者: 刘云峰 董景新

作者单位: 清华大学精密仪器与机械学系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年惯性仪表与元件学术交流会

会议地点: 辽宁丹东

会议语种:中文

页码: 83-91

在线出版日期: 2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）