微机械加工技术

摘要：

阐述了MEMS系统的几种重要的微机械加工技术,体硅微机械加工技术、表面微机械加工技术、LIGA技术、微机械封装技术,并分析了它们的工艺特点.文中对微机械表征和测试技术也做了相应的描述.针对工艺和设计相互关系问题,本文也谈了自己的看法.

关键词： 微机械加工技术 测试和表征 结构设计和工艺

作者: 孙洪强 邱飞燕

作者单位: 航天时代电子公司研究院

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年惯性仪表与元件学术交流会

会议地点: 辽宁丹东

会议语种:中文

页码: 179-183

在线出版日期: 2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）