微固态惯性器件的研究与发展
微固态惯性器件是采用MEMS技术研制和开发的惯性仪表及其组成的系统,自二十世纪八十年代诞生以来,得到了迅速的发展和广泛应用,产生了显著的社会和经济效益.该技术已引起了世界各国科学院、产业部门和政府部门的高度重视,已被列入各发达国的高技术发展规划.我国已将它纳入国家”十五”科技发展计划和八六三高科技计划.本文总结微固态惯性器件在国内外的产生、发展及现状,探讨其发展规律特点,结合我国技术现状提出了今后五年以内,该项技术在我国的发展目标及具体的技术途径.
MEMS技术 微固态惯性器件 关键技术
王巍 何胜
航天时代电子公司研究院
国内会议
辽宁丹东
中文
40-48
2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）