硅微惯性器件研制的现况和一些问题的探讨

摘要：

本文首先就硅微加速度计、微机械陀螺及MEMS惯性测量组合的研制现状作了一系统的分析.然后对国内研制硅微惯性器件的几个问题(硅基片、惯性器件的性能和尺寸的关系、惯性器件的基片级检测及新型硅微惯性器件)进行了详细的分析说明.最后指出硅微惯性器件肯定是下一低成本惯性器件的发展方向,优先发展硅微加速度计,同时在适当时候开展硅微陀螺的研制.

关键词： 微电子机械系统 硅微惯性器件 硅微加速度计 微机械陀螺 MEMS惯性测量系统

作者: 范正翥 陈平

作者单位: 中航一集团第六一八研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年惯性仪表与元件学术交流会

会议地点: 辽宁丹东

会议语种:中文

页码: 13-20

在线出版日期: 2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）