硅基叉指式电容加速度计标准化工艺制造

摘要：

叉指式电容加速度计是一种实用化的MEMS惯性器件,其快速发展更是受到近几年的实际需求的牵动.在MEMS加速度和陀螺等惯性器件的研制过程中,其加工方法以硅基为例主要分为体硅(Bulk Silcon)和表面硅(Surface Silicon)两种主流加工形式,体硅工艺具有工艺简单、高灵敏度、低温度漂移、低功耗、可靠性高,可以进一步和标准IC电路集成的优点.

关键词： MEMS 叉指式电容加速度计 DRIE ICP 硅-玻璃静电键合 体硅加工技术

作者: 阮勇 张大成

作者单位: 北京大学微电子学系

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年惯性仪表与元件学术交流会

会议地点: 辽宁丹东

会议语种:中文

页码: 161-167

在线出版日期: 2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）