硅MEMS惯性传感器研究和开发

摘要：

介绍了中国电子科技集团公司第十三研究所在MEMS惯性传感器方面的研究和开发情况.主要有已定型的±501g MEMS电子表容力平衡加速度传感器,即将定型±70g二维MEMS电容力平衡加速度传感器,准备定型的±2g,±10g高分辨率MEMS电容力平衡加速度传感器,已经得到初步应用的单、双轴MEMS热对流加速度传感器,研发中的MEMS振动陀螺仪和高g MEMS加速度传感器等.

关键词： 微型硅 MEMS加速度传感器 MEMS振动陀螺仪

作者: 杨拥军 徐爱东 郑锋 徐永青 何洪涛 卞玉民 吝海锋 吕树海 罗蓉 邹学锋

作者单位: 中国电子科技集团公司第十三研究所(石家庄)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年惯性仪表与元件学术交流会

会议地点: 辽宁丹东

会议语种:中文

页码: 1-12

在线出版日期: 2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）