对谐振轮式微硅陀螺的结构分析与检测

摘要：

本文分析了谐振轮式微硅陀螺的结构,并对提高微硅陀螺的灵敏度进行了研究,发现选择一个完全轴对称的谐振结构是设计高性能微陀螺的关键技术之一,针对该特点,对微硅陀螺的检测技术进行了分析,以实现高灵敏度的检测.

关键词： 微机械陀螺 静电激励 电容检测 谐振

作者: 李增新 崔燕 李海强

作者单位: 北京理工大学自动控制系

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年惯性仪表与元件学术交流会

会议地点: 辽宁丹东

会议语种:中文

页码: 64-69

在线出版日期: 2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）