”三明治式”硅微加速度计工程化研究

摘要：

国内硅微加速度计的研究在实验室状态下取得了很大进展,但是在产品一致性、长期稳定性问题及工程实用化方面存在一系列问题,不能达到工程应用的要求.针对这一问题,本文讨论了”三明治式”静电力反馈闭环硅微加速度计工程样机的研制.测试结果表明:研制的硅微加速度计在长期稳定性、一致性和应用环境的适应性等方面有大的突破,接近实用的工程样机,进一步深入的工程化工作正在展开.

关键词： 微机电系统(MEMS)技术 硅微加速度计 三明治式 静态标定试验 温度漂移试验

作者: 何胜 赵采凡 王巍 朱红生

作者单位: 航天时代电子公司研究院

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年惯性仪表与元件学术交流会

会议地点: 辽宁丹东

会议语种:中文

页码: 101-109

在线出版日期: 2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）