”叉指式”硅微加速度计研究

摘要：

本文讨论了一种”叉指式”微机械加速度计,介绍了这种微敏感结构的特点和工作原理,分析了几个重要性能参数.通过有限元分析和计算可知,结构改进后,灵敏度得到提高.

关键词： ”叉指式”加速度计 灵敏度 模态分析

作者: 孙洪强 谢海龙 王岩

作者单位: 航天科技集团公司十院研发中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年惯性仪表与元件学术交流会

会议地点: 辽宁丹东

会议语种:中文

页码: 110-117

在线出版日期: 2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）