薄膜测试的微桥技术

摘要：

总结了测试薄膜力学性能的微桥技术,分析了基底变形对测量物理量的影响.采用线性弹簧模型表征基底变形,并通过量纲分析和有限元计算给出弹簧系数的表达式,建立了微桥测试的理论基础,即薄膜微桥的大变形挠度-载荷公式.利用微桥技术成功地测量了Si<,3>N<,4>薄膜和SiO<,2>薄膜的弹性模量和残余应力.

关键词： 薄膜 微桥 力学性能 基底

作者: 张统一 李剑荣

作者单位: 香港科技大学机械工程系(香港) 中国科学技术大学材料力学行为和设计中科院重点实验室(合肥)

会议类型: 国内会议

会议名称: 祝贺郑哲敏先生八十华诞应用力学报告会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 239-244

在线出版日期: 2004-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）