二氧化锡薄膜的制备与XRD分析

摘要：

SnO<,2>薄膜具有良好的气敏性能和光敏性能,广泛的应用于固体化学传感器领域.本文采用三种不同的溅射方法制备具有纳米尺度的SnO<,2>薄膜,针对溅射方式的不同,结合薄膜结构上的差异,对三种溅射方式制备的SnO<,2>薄膜进行了XRD分析比较.

关键词： SnO<,2>薄膜 溅射 XRD 退火

作者: 王磊 杜军 刑光健 熊玉华 苑鹏 尉秀英

作者单位: 北京有色金属研究总院能源材料及技术研究中心(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届中国固态离子学学术会议

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 532-534

在线出版日期: 2004-10-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）