会议专题

二氧化锡薄膜的制备与XRD分析

SnO<,2>薄膜具有良好的气敏性能和光敏性能,广泛的应用于固体化学传感器领域.本文采用三种不同的溅射方法制备具有纳米尺度的SnO<,2>薄膜,针对溅射方式的不同,结合薄膜结构上的差异,对三种溅射方式制备的SnO<,2>薄膜进行了XRD分析比较.

SnO<,2>薄膜 溅射 XRD 退火

王磊 杜军 刑光健 熊玉华 苑鹏 尉秀英

北京有色金属研究总院能源材料及技术研究中心(北京)

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532-534

2004-10-24(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)