一种新型厌水性碳氟聚合物薄膜的制备

摘要：

利用ICP-CVD工艺制备出一种新型厌水性碳氟聚合物薄膜,并给出了制备薄膜的工艺参数.通过观测该薄膜的表面形貌和它与去离子水之间的接触角,结果表明,该薄膜均匀致密,与去离子水之间的接触角高达110°.

关键词： ICP-CVD碳氟聚合物 厌水材料 Teflon 聚合物薄膜 工艺参数

作者: 曾雪锋 岳瑞峰 吴建刚 胡欢 董良 刘理天

作者单位: 清华大学微电子学研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国信息获取与处理学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 271-272

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）