深亚微米飞行高度测量技术研究

摘要：

介绍了国内外深亚微米飞行高度测量技术,重点研究了干涉测量法、全内反射法、电学测量法的工作原理,分析了各种测量技术的特点,指出了深亚微米飞行高度测量技术亟待解决的关键性问题.

关键词： 飞行高度 深亚微米 动态测量 测量技术 干涉测量法 全内反射法 电学测量法

作者: 王亮 赵大鹏 李庆祥 李玉和

作者单位: 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国信息获取与处理学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 105-106

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）