三极板型RFMEMS压控电容的分析与制作

摘要：

设计并制作了基于硅基的射频微机械压控电容.该电容采用三对极板的传动结构,当两侧控制极板受到静电力驱动时,位于中部的电容极板将得到更大的位移.能量分析和软件模拟表明,该结构有助于提高压控电容的变化比例.测量表明,该电容品质因数为17@2GHz,并具有较大的电容变化比例(大于50﹪).该电容工艺简单,实现温度较低(小于350℃),具有与CMOS工艺集成的可行性.

关键词： 压控电容 射频 微机械 电容极板 电容工艺 片上系统

作者: 韦嘉 梁雪冬 刘泽文 李志坚

作者单位: 清华大学微电子所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国信息获取与处理学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 422-423

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）