近场光存储深亚微米头盘间距测量方法的研究
采用多波长干涉光强比对法实时测量近场光存储头盘间距,其分辨率小于1nm.该方法通过改变柔性折臂的加载力,预先标定光强与近场间距的关系曲线,然后采集工作过程中测量点的干涉光强与关系曲线比对,获得头盘间距值.该方法需考虑近场光学飞行头表面相移对测量结果的影响.
近场光存储 头盘间距 多光束干涉 复折射率 多波长干涉光强比对法
赵大鹏 王亮 李玉和 李庆祥 訾艳阳
清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室(北京)
国内会议
大连
中文
107-108
2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）