介质上电润湿现象的研究

摘要：

介绍了介质上电润湿的基本原理,分析了介质层材料的介电常数对接触角变化的影响,并提出了优化介质薄膜厚度的方法,为介质上电润湿的进一步应用提供了理论基础.

关键词： 电润湿 介质上电润湿 接触角 厌水层 介电常数

作者: 曾雪锋 董良 吴建刚 岳瑞峰 刘理天

作者单位: 清华大学微电子学研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国信息获取与处理学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 263-264

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）