结构参数对硅热流量传感器热性能的影响

摘要：

基于作者所在实验室研制的硅热流量传感器,给出了其有限元模型.在分析其工作原理的基础上,重点给出了传感器各项性能,如灵敏度、流速量程、输出大小等,和传感器设计尺寸及流体沟道的关系;最后,给出了关于传感器尺寸的优化的结论.

关键词： 硅热流量传感器 热模拟 ANSYS模拟 有限元模型

作者: 高冬晖 秦明

作者单位: 东南大学MEMS教育部重点实验室(南京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国信息获取与处理学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 45-46

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）