硅基垂直腔面光发射器件的设计与实现

摘要：

提出了一种新型硅基垂直腔面光发射器件结构.它采用等离子增强化学气相淀积(PECVD)方法制备的非晶硅/二氧化硅交替生长的多层薄膜结构为布拉格反射器(DBR),以夹在上下两个布拉格反射器之间的非晶碳化硅薄膜为中间发光层.通过设计与模拟,分析了DBR中薄膜生长顺序与层数对器件性能的影响.根据设计制作了光致红光发射器件并测量分析了它的光致发光谱.

关键词： 垂直腔面光发射器件 布拉格反射器 等离子增强化学气相淀积 非晶碳化硅薄膜

作者: 姚永昭 岳瑞峰 刘理天

作者单位: 清华大学微电子所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国信息获取与处理学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 279-280

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）