基于MEMS技术的气动式红外探测器的计算机模拟

摘要：

提出了一种可工作于室温环境下、基于MEMS技术的气动式红外探测器,它由束缚于微型腔体内、对特定波段的红外辐射具有吸收作用的气体介质构成.通过气体介质热膨胀引起的弹性薄膜形变,可获得包含红外辐射源信息的信号.建立了符合器件工作机制的物理模型,并通过有限元模型和流体-热-结构耦合模拟获得了微型腔体内气体介质的温度、速度场分布以及弹性薄膜的形变.

关键词： 微机械 气动式红外探测器 流体-热-结构耦合 计算机模拟 MEMS技术 红外辐射源 速度场

作者: 吴峻苗 邹德恕 徐晨 沈光地

作者单位: 北京工业大学电子信息与控制工程学院;北京市光电子技术实验室(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国信息获取与处理学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 416-417,419

在线出版日期: 2004-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）