微晶硅薄膜电输运各向异性的研究

摘要：

采用热丝技术,通过改变氢稀释度获得不同晶态比的微晶硅薄膜,对薄膜的直流共面电导和交流夹心电导测量表明,在晶态比0.43<X<,c><0.8范围,薄膜电输运具有明显的各向异性,当X<,c>>0.8时,各向异性减弱.讨论了薄膜结构与输运各向异性之间的关系.

关键词： 微晶硅薄膜 电输运 各向异性 太阳能电池

作者: 刘丰珍 朱美芳 汪六九 韩一琴

作者单位: 中国科学院研究生院物理系

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年中国太阳能学会学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 136-138

在线出版日期: 2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）