孪生对靶溅射ZnO:Al薄膜的研究
采用对向孪生靶溅射ZnO:Al(ZAO)薄膜可减少等离子体对基底薄膜轰击损伤,沉积速率与结晶程度高;不同气压溅射的ZAO薄膜,其透光率在波长小于700nm时基本相同,在可见光范围内(400~700nm),都大于80﹪.其中,在550nm时的透过率大于90﹪;入射光大于700nm时,ZAO较厚的薄膜对红外的吸收更多;溅射气压为2Pa比1Pa沉积速率低,但薄膜电子迁移率较大、电阻率低,更适合做CIS薄膜太阳电池窗口层或透明导电膜.
ZnO薄膜 孪生对靶 透光率 磁控溅射 太阳电池
薛玉明 刘维一 朴英美 李凤岩 何青 周志强 孙云
南开大学光电子所(天津)
国内会议
上海
中文
165-167
2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）