溅射太阳选择性吸收涂层的生产自动化

摘要：

本文对单圆柱靶磁控溅射系统的控制进行了研究,并在选择性吸收涂层大规模的生产中,采用现场总线技术,实现太阳选择性吸收涂层的生产自动化,保证质量,降低成本,提高大规模生产的效率.

关键词： 太阳选择性吸收涂层 磁控溅射系统 现场总线 太阳能集热管

作者: 唐轩 郑世民 谭锐

作者单位: 北京清华阳光能源开发有限责任公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年中国太阳能学会学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 438-442

在线出版日期: 2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）