非晶硅太阳能电池ZnO:Al/Al复合背电极增反工艺优化

摘要：

在硅基薄膜太阳能电池中,常使用透明导电氧化物(TCO)与金属组成的复合背反射电极,以增加对太阳光的收集效率,从而提高太阳能电池的转化效率.实验发现,透明导电膜自身性能、厚度大小及其与n层界面匹配情况是影响背反射电极性能的重要因素,所以本文将着眼点放在优化TCO的制备工艺以得到性能良好的TCO膜,同时选择合适的膜厚并改善界面匹配以提高背反射效果.通过实验和理论计算,得到最合适的膜厚100nm左右.与n-a-Si相比,n-μ-c-Si与TCO匹配更好.

关键词： 透明导电膜 背反射电极 太阳能电池 非晶硅薄膜

作者: 王雅欣 薛俊明 李养贤 周祯华 任慧志 王凯杰 耿新华

作者单位: 河北工业大学(天津) 南开大学光电子所(天津)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年中国太阳能学会学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 224-227

在线出版日期: 2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）