多晶硅薄膜太阳电池衬底材料——颗粒硅带——的工艺优化

摘要：

本文以正交实验设计方法分析多晶硅薄膜太阳电池的衬底材料——颗粒硅带——制备工艺参数并进行了优化,采用扫描电镜对颗粒硅带电特性进行分析;并通过对线聚集加热区的温度场测量分析推断颗粒硅带的物理化学形成过程.本文在工艺优化的基础上同时讨论了颗粒硅带制备工艺的产业化可行性.目前,颗粒硅带上的多晶硅薄膜太阳电池转换效率可达到5﹪~8﹪范围(1cm<”2>).

关键词： 多晶硅薄膜太阳电池 颗粒硅带 衬底材料

作者: 班群 王晓晶 沈辉

作者单位: 中山大学凝聚态物理系

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年中国太阳能学会学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 97-99

在线出版日期: 2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）