绒面腐蚀液中使用化学添加剂改进大批量加工的稳定性

摘要：

实验研究使用添加剂来改进NaOH水溶液中单晶硅绒面加工质量稳定性的工艺方法.所使用的添加剂可以改善晶体硅表面与NaOH水溶液的湿润亲和,提高绒面上角锥体的覆盖率.另外,该种添加剂对腐蚀液中OH<”->离子从腐蚀液向反应界面的输运过程具有缓冲作用,使在大批量腐蚀加工单晶硅绒面对,溶液中NaOH含量具有较宽的工艺容差范围,从而提高了产品工艺加工质量的稳定性.

关键词： 绒面腐蚀 添加剂 反射率 工艺稳定性 太阳电池 晶体硅

作者: 张忠文 李景天 李杰慧 刘祖明 高天荣 姚朝晖

作者单位: 昆明光伏科技有限公司(昆明);云南师范大学太阳能研究所(昆明) 云南师范大学太阳能研究所(昆明)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年中国太阳能学会学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 66-69

在线出版日期: 2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）