VHF-PECVD沉积微晶硅薄膜的电学特性和结构特性研究

摘要：

本文研究了用甚高频等离子体增强化学气相沉积方法(VHF-PECVD)制备的不同硅烷浓度(SC)条件下的微晶硅薄膜样品.随着SC逐渐增大,样品沉积速率也逐渐增大,实验中最大速率可达20A/s;研究了样品的暗电导率及其光敏性(光电导/暗电导)随SC的变化情况,结果表明:在本实验条件中非晶/微晶过渡区发生在6﹪~7﹪之间;用室温的微区拉曼光谱进行了薄膜微结构的分析与研究,用高斯函数对其解谱分析得到随SC的增大,晶态比X.是逐渐减少的.

关键词： 化学气相沉积 氢化微晶硅薄膜 拉曼散射谱 晶化率 太阳能电池

作者: 张晓丹 朱锋 侯国付 熊文娟 孙建 赵颖 耿新华 熊绍珍

作者单位: 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所(天津)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年中国太阳能学会学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 114-117

在线出版日期: 2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）