微型平面薄膜气敏元件及过冲驰豫现象的机理

摘要：

利用粉末反溅研制了SnO<,2>/CeO<,2>Si基微型平面薄膜元件,最佳乙醇灵敏度达到80,响应时间<10s,恢复时间<15s;采用闭式实验测量方法时出现了过冲驰豫现象,对其产生机理的物理过程进行了分析,找出了规律,并使用Matlab软件进行了仿真.

关键词： 薄膜 气敏 过冲驰豫 Matlab

作者: 邢建平 李秀宇 曾繁泰 李伟业 蔡成森 李娟 孟令国

作者单位: 山东大学信息科学与工程学院(济南)

会议类型: 国内会议

会议名称: 测控、计量与仪器学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 1209-1215

在线出版日期: 2004-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）