电化学沉积DLC和CNx薄膜摩擦学性能的比较
分别利用甲醇和甲醇-尿素有机溶液作碳源,采用电化学沉积方法,在单晶硅表面沉积得到DLC和CN<,x>薄膜.利用拉曼光谱、原子力显微镜和球盘摩擦磨损机考察了氮掺杂对DLC膜表面形貌、微观结构和摩擦学性能的影响.研究结果表明:氮元素的掺杂使得薄膜内部sp2-C键角的无序度增大,薄膜表面粗糙度增大;在干摩擦实验过程中,氮元素的掺杂明显延长了薄膜与对偶之间的初始磨合期,但同时又降低了薄膜的稳态摩擦系数.
电化学沉积 摩擦学性能 氮掺杂 表面形貌 微观结构 类金刚石碳膜
陈刚 阎兴斌 刘惠文 徐洮
中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室(甘肃兰州)
国内会议
西安
中文
304-305
2004-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）