关于单晶硅各向异性腐蚀机理的讨论
在单晶硅太阳电池的制备工艺中,经常利用碱溶液对各个晶面腐蚀速率不同,在硅片表面形成类”金字塔”状绒面,降低反射率.本文研究了(氢氧化钠+乙醇)混合体系对(100)晶向的单晶硅片的各向异性腐蚀过程,描述了随着氢氧化钠的含量、乙醇的含量和反应时间的变化,金字塔绒面微观形貌和硅片表面反射率的变化情况,从金字塔的成核、生长过程的角度,分析了各工艺参数影响绒面质量的机理,总结出了适宜大规模生产的工艺参数.
单晶硅 各向异性 太阳电池 腐蚀机理
许彦旗 汪义川 季静佳 施正荣
无锡尚德太阳能电力有限公司(无锡)
国内会议
上海
中文
34-38
2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）