凹形零件真空阴极弧等离子体基离子注入与沉积的均匀性研究
利用钛真空阴极弧作为等离子体源产生金属等离子体,在8Pa的氮气介质中对凹形零件施加负的脉冲高压,进行等离子体基离子注入沉积.利用朗缪尔探针测量等离子体密度的空间分布,并检测等离子体鞘层的运动情况;本文还研究不同尺寸、不同宽深比凹槽的离子注入与沉积层的均匀性.结果表明凹槽的注入剂量顶部最大,侧面随深度变化逐渐降低,底部最小.这种不均匀性在宽度减小,深度增加时更明显.
凹形零件 真空阴极弧 等离子体 离子注入 均匀性 沉积层 表面改性
马欣新 唐光泽 孙明仁 行村建
哈尔滨工业大学材料科学系(哈尔滨) 日本同志社大学电子工程系
国内会议
西安
中文
316-318
2004-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）