Ti6A14V合金等离子体基离子注氧层XPS研究
本文用等离子体基离子注氧技术(O-PBⅡ)对Ti6A14V合金进行了表面改性处理,试验过程中改变注入离子能量的工艺参数,负脉冲偏压分别为-10kV和20kV,离子注入过程中样品台通油冷却以实现低温注入.用XPS对离子注氧层的深度、成分及化学结构进行了系统的分析.结果显示,随着注入离子能量的增加,Ti6A14V合金表面改性层的深度明显增加,改性层的外层由一定厚度的TiO<,2>组成,外层与内层基体之间为TiO<,x>层.Al元素在改性层的外层以氧化物形式存在,且该氧化物趋于表面生长.在表面改性层的外层未发现V及其氧化物.
等离子体基 离子注入 XPS分析 化学态 注氧层 表面改性处理 钛铝钒合金
李金龙 孙明仁 马欣新
哈尔滨工业大学材料科学与工程学院(哈尔滨)
国内会议
西安
中文
340-343
2004-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）