ECR纳米碳膜的制备技術及摩擦学行为
研究新型ECR(扩散式和封闭式)等离子体溅射技术在同一基体上实现制备超硬、导电、超光滑多种杂化纳米结构碳膜.利用XPS,HRTEM等高精度材料分析手段表征碳膜的纳米结构、各种杂化轨道的含量,及纳米碳膜各杂化区之间的界面键合关系.使用多功能原子力探针及多尺度摩擦磨损仪测试碳膜的电磁特性和摩擦学性能(主要指摩擦和磨损).阐明碳膜中各纳区组织结构与电磁行为和摩擦学行为的相关性.同时,揭示多尺度下碳膜摩擦学行为的变化规律.
碳膜 等离子体溅射 纳米材料 摩擦系数 磨损寿命
刁东风
西安交通大学现代设计及转子轴承系统教育部重点实验室
国内会议
西安
中文
182-184
2004-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）