直流反应磁控溅射制备B-C-N三元膜的成分及结构

摘要：

由于B-C-N系材料中含有超硬材料,如金刚石,立方氮化硼等,所以BCN膜引起了人们的极大兴趣.本文采用导电碳化硼做为溅射靶材,以N<,2>为反应气体,直流反应溅射制备BCN三元膜.通过改变氮氩比,得到不同含氮量的BCN膜.采用X射线光电子谱仪分析其成分和价态.结果表明,由于气体分压的不同,膜的成分和结构有很大变化.

关键词： 超硬材料 直流反应磁控溅射 X射线光电子谱 硼碳氮薄膜 化学成份 价态结构

作者: 徐淑艳 马欣新 孙明仁

作者单位: 哈尔滨工业大学材料科学与工程学院(黑龙江哈尔滨)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国表面工程学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 403-405

在线出版日期: 2004-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）