用于等离子体表面改性的高频高压偏压电源研制

摘要：

脉冲偏压电源在等离子体表面改性处理技术应用中起到很重要的作用.偏压可以有效调整载能粒子束流密度、工件表面状态、膜基结合力、膜层内应力、膜层结构等等,从而有效优化表面性能.我们研制几种模式的高频脉冲偏压电源.利用IGBT开关电路模块串联或变压器串并联技术获得了所需模式的高频高压脉冲电压波形.介绍了该种脉冲电源在不锈钢等离子体注入/氮化处理中的应用.

关键词： 脉冲偏压电源 等离子体 表面改性 开关电路 不锈钢 氮化处理 等离子体浸没 离子注入

作者: 巩春志 吕云庆 田修波 杨士勤 Paul K.Chu

作者单位: 哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室(哈尔滨) 大庆油田有限责任公司采油八场基建中心 Department of Phys.Mater.Sci,City University of Hong Kong(Hong Kong)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国表面工程学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 333-335

在线出版日期: 2004-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）