快速热扩散炉及快速扩散特性研究

摘要：

本文叙述了快速热扩散炉的研制,进行了晶体硅快速扩散的实验研究,测量了扩散杂质浓度分布及结深,并与传统热扩散进行了对比.

关键词： 快速热扩散炉 快速热扩散 杂质分布 太阳电池 晶体硅

作者: 查超麟 刘祖明 李景天 张忠文 李杰慧 马逊 陈庭金

作者单位: 云南师范大学太阳能研究所、能源与环境科学学院,云南省农村能源工程重点实验室(昆明)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年中国太阳能学会学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 58-61

在线出版日期: 2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）