采用USP-CVD沉积SnO<,2>:Sb透明导电膜

摘要：

以显微镜载玻片为衬底,采用超声雾化喷涂(USP)化学气相沉积(CVD)工艺制备出SnO<,2>:Sb薄膜.对衬底温度,方块电阻进行了研究.用X射线衍射方法分析了在同一温度下,不同Sb掺杂浓度的膜的结构.采用AFM分析了SnO<,2>:Sb的表面形貌.

关键词： 化学汽相沉积 Sb X射线衍射仪 原子力显微镜 透明导电薄膜

作者: 丁尔峰 周之斌 崔容强

作者单位: 上海交通大学物理系太阳能研究所(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年中国太阳能学会学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 168-170

在线出版日期: 2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）