LAO和LGO衬底上GaN的MOVPE生长

关键词： LAO LGO衬 GaN 金属有机汽相外延

作者: 陆大成 段树坤

作者单位: 科学院半导体研究所半导体材料科学实验室(北京) 科学院半导体研究所集成光电子学实验室(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 107～109

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）