会议专题

压电驱动式小型陀螺的理论分析与仿真

提出利用压电双晶片作为驱动,把用微机械工艺加工制作的”岛-梁”结构敏感头粘贴在压电双晶片的末端,从而敏感角速度的陀螺模型.建立敏感头质量的振动方程并求解,对陀螺进行动力学误差分析.用计算机分析软件求得压电双晶片的共振频率和敏感头质量振动的固有频率,确定结构尺寸,为制作该陀螺奠定了理论基础.

压电双晶片 微机械 陀螺

王宏伟 朱嘉林 张伟

传感技术研究中心,北京信息工程学院(中国北京)

国内会议

第八届敏感元件与传感器学术会议

北京

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311-316

2003-09-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)