小型一体化压力变送器研究

摘要：

主要论述了压力传感器的工作原理、方案设计、机械结构、研制结果.为减小芯片尺寸,采用了深槽刻蚀技术.由于小型一体化压力变送器体积较小,在电路中采用了贴片式XTR105芯片进行信号处理,达到输出信号为4mA~20mA和1V~5V,测量精度为0.5﹪FS的要求.经测试检验表明设计合理、各项指标达到设计要求.

关键词： 小型一体化压力变送器 双信号输出 压力传感器

作者: 田雷 苗欣 王江

作者单位: 中国电子科技集团公司第四十九研究所(中国哈尔滨)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 463-467

在线出版日期: 2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）