气象微系统中湿度传感器的温度补偿
本文对气象微系统中的集成湿度传感器的温度漂移进行了理论模型分析,并运用ANSYS对湿度传感器的简化模型进行了静电场分析,得到了湿度传感器的电容变化量与温度、相对湿度的关系曲线,进而根据PSPICE的模拟结果给出了集成湿度传感器温度补偿的软件方法,并用模拟得到的数据验证了该补偿方法的有效性,最后讨论了将该补偿方法运用于气象微系统设计的可行性.使得在设计气象微系统中的集成湿度传感器时不用设计硬件电路对传感器的温度漂移进行补偿,而由微系统中的微处理器执行程序实现温度补偿,并能保证系统相对湿度测量的精度.
湿度传感器 温度漂移补偿 气象微系统
周再发 黄庆安 秦明 张中平
MEMS教育部重点实验室,东南大学(中国南京)
国内会议
北京
中文
399-407
2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）