静电激励/电容拾振谐振梁敏感结构的机理研究

摘要：

本文主要通过对静电激励/电容拾振的谐振梁敏感结构的分析,从理论上对静电激励和电容拾振的原理、动态和静态特性以及输入输出信号的幅值和相位关系进行了深入的研究,对进一步研发微机械谐振传感器具有现实意义.

关键词： 谐振梁敏感结构 静电激励 电容拾振 谐振式传感器

作者: 李雪莹 周浩敏 刘广玉

作者单位: 自动化学院,北京航空航天大学(中国北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 228-233

在线出版日期: 2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）