CMOS集成电容绝对压力传感微系统的模拟与设计
微电子机械系统(MEMS)或微系统(MICROSYSTEM)成为继集成电路设计之后微电子领域新的发展方向.传感器作为外界与内部处理电路的接口,已经成为微系统的重要组成部分.将传感器部分和集成电路(IC)集成于同一芯片之中,实现同一工艺条件下的设计与工艺兼容,已经成为能否真正实现微系统的关键问题之一.本文以压力测量系统为例,论述CMOS工艺条件下的电容式绝对压力传感器和IC处理电路的兼容设计的可行性,给出了相应工艺条件下微系统的具体设计过程,设计参数经过高用工具软件的模拟论证,设计和模拟结果说明了系统实现的可行性.
集成绝对压力电容式传感器 MEMS CMOS工艺
周闵新 黄庆安 秦明
MEMS教育部重点实验室,东南大学(中国南京)
国内会议
北京
中文
145-150
2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）