MEMS技术在集成压力传感器中的应用

摘要：

介绍了MEMS国内外发展概况,及MEMS技术在集成压力传感器研制中的应用情况.结合作者在佐治亚理工学院微电子研究中心的工作,简述了在集成压力传感器研制中的MEMS CAD应用,即ANSYS仿真分析;并给出了与集成电路想兼容的敏感材料多晶硅工艺参数的正交实验优化结果.

关键词： MEMS 集成压力传感器 多晶硅 ANSYS

作者: 金建东 周治平

作者单位: 哈尔滨传感技术研究所,一室(中国哈尔滨) Georgia Institute of Technology,ECE,Microelectronics Research Center791Atlantic Drive NW,Atlanta(Geo

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 157-160

在线出版日期: 2003-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）